Eroare la senzorul de presiune?
În primul rând, eroarea de compensare: Deoarece decalajul vertical al senzorului de presiune rămâne constant pe întregul interval de presiune, modificările difuziei convertizorului și corecția ajustării laser vor duce la o eroare de compensare.
În al doilea rând, există eroarea de sensibilitate: mărimea erorii generate este proporțională cu presiunea. Dacă sensibilitatea dispozitivului este mai mare decât valoarea tipică, eroarea de sensibilitate va fi o funcție crescătoare a presiunii. Dacă sensibilitatea este mai mică decât valoarea tipică, eroarea de sensibilitate va fi o funcție descrescătoare a presiunii. Motivul acestei erori se datorează modificărilor procesului de difuzie.
A treia este eroarea liniară: acesta este un factor care are un impact mic asupra erorii inițiale a senzorilor de presiune. Motivul acestei erori este neliniaritatea fizică a plachetei de siliciu, dar pentru senzorii cu amplificatoare ar trebui inclusă și neliniaritatea amplificatorului. Curba de eroare liniară poate fi o curbă concavă sau o curbă convexă pentru senzorii de cântărire.
În cele din urmă, există o eroare de histerezis: în cele mai multe cazuri, eroarea de histerezis a senzorilor de presiune poate fi complet ignorată, deoarece plăcile de siliciu au o rigiditate mecanică ridicată. În general, eroarea de histerezis trebuie luată în considerare doar în situațiile în care presiunea se modifică semnificativ.
